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    年度91
    論文名稱Photo-patternable gelatin as protection layers in low-temperature surface micromachinings
    全部作者Yang, Lung-Jieh; Lin, W. Z.; Yao, T. J.; Tai, Y. C.
    卷數Sensors and Actuators, A: Physical 103(1-2), pp.284-290
    ISSN(ISBN)0924-4247
    使用語言英文
    備註期刊論文