年度90
等級
書名認識微機電
部分章節1.本書累積近年來台灣本土化微機電技術之發展經驗，詳述矽質微細加工技術，與微型感測器之設計製作工藝，連帶提及最新微機電產品趨勢與策略建議。
2.本書與一般科技譯作最大的差異，在於專心介紹具台灣本土發展可行性的微機電技術，故對國內有意從事微機電研發的人士，富實用之效。
3.書中部分討論較深入的課題，係直接採自學術期刊或會議論文集，則可供研究生進一步思索、延伸。
出版社時報文化出版企業公司
全部作者楊龍杰
出版日期2001-09-01
ISSN(ISBN)957207931X
所屬計畫案認識微機電
備註專書